科普丨售价1.2亿美金！ASML光刻机到底金贵在哪儿？

"\u003Cdiv\u003E\u003Cp\u003E去年上半年，中芯国际以1.2亿美元的价格抢购到一台EUV光刻机，按照约定ASML于今年交付，目前已经搬入厂内。那么到底是什么设备能有单台破亿的价格呢?业界人士都清楚光刻机设备对芯片的重要意义，但也许你会思考，既然如此重要，为何只有荷兰ASML一家独大?\u003C\u002Fp\u003E\u003Cdiv class=\"pgc-img\"\u003E\u003Cimg src=\"http:\u002F\u002Fp3.pstatp.com\u002Flarge\u002Fpgc-image\u002F857149c8ba3642f0b7e8ea13f29bd8ba\" img_width=\"640\" img_height=\"433\" alt=\"科普丨售价1.2亿美金！ASML光刻机到底金贵在哪儿？\" inline=\"0\"\u003E\u003Cp class=\"pgc-img-caption\"\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003C\u002Fdiv\u003E\u003Cp\u003E\u003Cstrong\u003E什么是EUV光刻机?\u003C\u002Fstrong\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E众所周知，芯片是电子产品所必不可少的组件，芯片制造商要想成功地制造出芯片来，必须用到光刻机。对芯片制造商来说，光刻机就是核心的生产设备。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EASML公司是全球唯一一家能制造EUV光刻机的公司，而想要制造出体积小、性能强、成品率高的芯片，就一定要使用ASML公司的EUV光刻机，而ASML公司研发的这类机器也是目前最先进的光刻机设备。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E晶圆制造产业进入7 纳米制程之后，目前全世界仅剩台积电与三星，再加上号称自家10 纳米制程优于竞争对手7 纳米制程的英特尔等，有继续开发能力之外，其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下，都已宣布放弃。就在7 纳米制程节点以下先进制程的领域，必不可少的关键就是极紫外线微影(EUV)设备导入。除了三星用在首代7 纳米LPP 制程，台积电也自2019 年开始，将EUV 导入加强版7 纳米+制程。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E所谓的极紫外线微影设备EUV，就是Extreme Ultraviolet 简称，使用通称极紫外线之极短波(13.5nm)光线的微影技术，能加工至既有ArF 准分子雷射光微影技术不易达到之20nm 以下的精密尺寸。不但能降低晶圆制造时光罩使用数量，以降低生产成本，并提高生产良率，也因能加工过去ArF 准分子雷射光微影技术不易达到的20nm 以下之精密尺寸，更有助半导体产业摩尔定律(Moore's law)再往下延伸，让半导体产业发展持续精进。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E因EUV 设备扮演如此关键性的角色，使全球晶圆生产企业都希望获得此设备。2012 年，全球三大顶尖晶圆制造厂商英特尔、台积电、三星等加入全球EUV 市场占有率90% 以上的艾司摩尔(ASML)「客户联合投资专案」(Customer Co-Investment Program)，分别取得艾司摩尔15%、5% 及3% 股权，保证取得EUV 优先供货。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cdiv class=\"pgc-img\"\u003E\u003Cimg src=\"http:\u002F\u002Fp1.pstatp.com\u002Flarge\u002Fpgc-image\u002Fcb264be2245a4d2f9e7e480b6895aec9\" img_width=\"640\" img_height=\"640\" alt=\"科普丨售价1.2亿美金！ASML光刻机到底金贵在哪儿？\" inline=\"0\"\u003E\u003Cp class=\"pgc-img-caption\"\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003C\u002Fdiv\u003E\u003Cp\u003EASML 表示，目前半导体先进制程不可或缺的EUV 设备，每台有超过10 万个零件，加上3 千条电线、4 万个螺栓及2 公里长的软管等零组件，最大重量达180 公吨，每次运输必要动用40 个货柜、20 辆卡车，并3 架次货机才能运完，且每部造价超过1 亿美元。在这么庞大的数字下，可以想见ASML 为什么一年最高产量只有30 部EUV 了。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E\u003Cstrong\u003E为什么只有荷兰ASML一家独大?\u003C\u002Fstrong\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E众所周知，荷兰并不是一个大国，国土面积可以将荷兰定义成一个小国，那么为什么荷兰这么小的一个国家可以拥有这么顶级的企业呢?\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E原因一：ASML出身名门。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E荷兰光刻机企业ASML并不是一个无名公司白手起家发展至今的，它的前身是著名的电子制造商飞利浦，ASML是从中独立出来发展的，在其发展的前期，飞利浦给予的支持是很大的，前期的经济以及技术支撑给了ASML很好的发展前景。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E原因二：不拘一格降人才。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E与我们想象中不同，ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的，这与他原来的对手，尼康和佳能是完全不同的。正是因为这样的政策，使得他们能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术，而他们自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章，从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势。而这种高新技术行业马太效应特别明显，一旦有一点差距，很快就会迅速拉大。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cdiv class=\"pgc-img\"\u003E\u003Cimg src=\"http:\u002F\u002Fp3.pstatp.com\u002Flarge\u002Fpgc-image\u002F154fd9134782419e85d0c17c27eecc64\" img_width=\"624\" img_height=\"351\" alt=\"科普丨售价1.2亿美金！ASML光刻机到底金贵在哪儿？\" inline=\"0\"\u003E\u003Cp class=\"pgc-img-caption\"\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003C\u002Fdiv\u003E\u003Cp\u003E原因三：对核心技术的掌握。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003EASML拥有最先进的EUV光刻技术，世界第二的专利申请量，说明即便是广泛地外包零件，他们依然对核心技术有着不懈的追求。ASML使用的是德国机械工艺、蔡司镜头和美国公司提供的光源，可以说荷兰ASML公司背靠整个欧美最顶尖的技术支撑，才得以迅速发展。欧美之间有技术共享机制，有了一家顶级的集大成者，因为能买得到最好的技术，其他公司也就不愿意再投入研究。再者，光刻机投入巨大并且需要常年的技术积累，荷兰ASML员工就有23000名，所以很多公司也不愿意从头再来去研制光刻机。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E原因四：独特的合作模式。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E虽然ASML光刻机很难得，但是它独特的合作模式也让需求者十分领情，毕竟进口大量的部件是需要资金的，为了保持正常运转，ASML会提出合作模式，如果有公司投资ASML，那么它会优先为投资方提供供货，满足投资方的光刻机需求，这样一来不仅平衡自己企业的发展还给予了投资方需求，双方可谓互利共赢。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E这样奇特的合作模式使得ASML获得了大量的资金，包括英特尔、三星、台积电、海力士都在ASML中有相当可观的股份，可以说大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E而且不仅仅是来自合作伙伴的资金支持，更多的还有技术支持。比如说刚刚提到了ASML在EUV光刻技术上拥有世界第二的专利申请量，而世界第一是德国的蔡司公司，第三是韩国的海力士公司，而这两家公司都是ASML的合作伙伴。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cp\u003E由于我国芯片技术起步较晚，所以与其他发达国家还存在着一定的差距。最近，国内很多家芯片企业陆续订购到荷兰ASML公司的芯片光刻机设备。可以说，未来会有更多ASML公司的光刻机设备运用到国内公司的厂房，国产芯片将迎来设备上重大升级。\u003C\u002Fp\u003E\u003Cdiv class=\"pgc-img\"\u003E\u003Cimg src=\"http:\u002F\u002Fp3.pstatp.com\u002Flarge\u002Fpgc-image\u002Fb1993935f77448b6b3f7318571335b19\" img_width=\"440\" img_height=\"290\" alt=\"科普丨售价1.2亿美金！ASML光刻机到底金贵在哪儿？\" inline=\"0\"\u003E\u003Cp class=\"pgc-img-caption\"\u003E\u003C\u002Fp\u003E\u003C\u002Fdiv\u003E\u003C\u002Fdiv\u003E"

文章来源: https://www.toutiao.com/group/6714934106930545156/